微型感測器結合故障樹之安全預警解決方案
- 中國醫藥大學
- 綠色安全部屋戰隊
全球半導體產業快速發展，尤其是台灣已成為晶圓代工領域的領先者。然而，隨之而來的是職災風 險的增高，特別是來自化學品暴露的威脅，例如神經損害、肺部疾病及生殖問題等。為保障員工安 全並提升產業競爭力，本方案提出智慧化工安管理系統。 透過AIoT物聯網技術與故障樹分析(FTA)，我們將微型感測器部署於高風險區域（如管線接點、排氣 口等），實現即時化學品濃度、壓力及溫度監測。當異常發生時，自動化系統會立即發出警報，並 擁有一套智能緊急應變系統，幫助指導現場快速應對。此外，感測器數據能進行長期累積，配合機 器學習打造預測模型，有效降低意外風險。 本系統適用於監控常見高危害化學物質，如溴丙烷、氯氣與氨氣，針對其揮發性和毒性進行嚴密監 控。感測器小型化設計降低設置成本，並適應精密製程需求。這套智能系統不僅提升半導體製程的 工安水平，亦能廣泛應用於其他化學製程，助力產業向智慧安全邁進。 透過結合硬體佈局與軟體風險管理，我們的創新預警系統致力於確保員工健康與產業永續發展，為 全球半導體製程樹立安全新標杆。
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